本設備的爐管兩端分別安裝有進料進氣真空腔室和出料排氣真空腔室（即收放銅箔的密封裝置），收放銅箔的密封裝置內分別對應安裝有放卷滾輪和收卷滾輪，進料進氣真空腔室與爐體之間安裝有射頻等離子體發生器，出料排氣腔體與爐體之間安裝有風冷裝置。相對于現有技術具有快速冷卻、連續生長的優點，可以進行大面積、高質量石墨烯的規模化生長。