新一代紫外波長(zhǎng)172nm，適用于一般實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)加工；

超越365nm等傳統(tǒng)光刻波長(zhǎng)，體統(tǒng)新的實(shí)驗(yàn)方法；

有機(jī)聚合物襯底無需光刻膠，直接得到圖形和溝道；

光刻分辨率：<0.5um，典型值可達(dá)0.35um；

快速：典型30-100s一次光刻；

可置于手掌的紫外光刻-表面處理系統(tǒng)；

無需超凈間，辦公桌就可完成光刻。