產品詳情
等離子體增強回轉爐BTF-1200C-R-PECVD
1、該設備爐管可360度旋轉,管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻;
2、可左右大角度傾斜,方便出放料,傾斜角度在0~35°之間。
該款設備是全自動Plasma增強CVD系統(PECVD),系統可以實現連續滑動溫區,連續可控溫度以及Plasma強度等,配備真空系統,可以實現低壓條件下的實驗,針對低溫石墨烯、碳納米管生長等。PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區,輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態,這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現象。