Mapping系列光譜橢偏儀采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù)，配置全自動Mapping測量模塊。通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量，快速實現(xiàn)薄膜全基片膜厚以及光學(xué)參數(shù)自定義繪制化測量表征分析

1、全基片橢偏繪制化測量解決方案

2、支持產(chǎn)品設(shè)計以及功能模塊定制化，一鍵繪制測量

3、配置Mapping模塊，全基片自定義多點定位測量能力

4、豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫，保證強大數(shù)據(jù)分析能力