1.轉(zhuǎn)速可控范圍：100-12000RPM，轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM

2.最大單步步長3000S，旋轉(zhuǎn)時(shí)間分辨率0.1S

3.加速度可控范圍：100-30000RPM/S

4.可處理碎片(小于1cm)至6英寸(150mm)圓晶底物

5.4.3寸全彩觸摸屏，提供觸屏筆操作，中英文界面可選

6.可進(jìn)行多步程序運(yùn)行，最多可存貯10組10步程序

7.HDPE高分子耐腐蝕、易清潔內(nèi)腔，帶排廢功能

8.SUS耐腐蝕不銹鋼機(jī)身，耐溶劑性PC透明蓋子

9.帶一只自動(dòng)點(diǎn)膠端口，可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能

10.100W直流無刷電機(jī)，寬電壓適用：AC100-230V輸入

11.帶真空和蓋子開關(guān)互鎖功能，確保操作安全

12.標(biāo)配三種規(guī)格鋁合金真空載物盤（直徑10mm、25mm、55mm）

13.防堵膠功能設(shè)計(jì)，真空通道進(jìn)膠安全保護(hù)功能

14.外形尺寸：256(W)*358(D)*258(H)