第六代Phenom ProX臺式掃描電鏡引入了全新一代操作系統，通過改進光路設計，將分辨率提升到新高度。能譜操作界面與能譜算法進一步升級，易于操作，元素分析更快速。在滿足材料表面形貌和元素分析的基礎上，還可以通過軟件控制硬件，實現材料分析自動化。此外，用戶可以通過特定的軟件從SEM圖像中快速提取樣品特征信息，測量數據、統計圖表可以根據選擇的格式輸出在報告里。