氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質量流進行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。典型應用場合有微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。具有小巧緊湊的外形，可獨立運行，內置RS-485總線接口。