新一代紫外波長172nm，適用于一般實驗室實現亞微米級加工；

超越365nm等傳統光刻波長，體統新的實驗方法；

有機聚合物襯底無需光刻膠，直接得到圖形和溝道；

光刻分辨率：<0.5um，典型值可達0.35um；

快速：典型30-100s一次光刻；

可置于手掌的紫外光刻-表面處理系統；

無需超凈間，辦公桌就可完成光刻。