Fischione微束定點離子刻蝕儀（型號：1040）主要用來對半導體集成電路、芯片、器件等樣品的刻蝕處理，從而獲取該類樣品的線路結構，該產品主要由聚焦離子槍及高壓電場、配套真空系統、觸屏控制系統、配套線纜及氣路等等部分組成。

Fischione微束定點離子刻蝕儀（型號：1040）主要技術參數：

1、加工離子能量范圍需包括：50eV ~ 2keV；

2、離子束束斑尺寸：≤1μm，可精確定位制備樣品；

3、樣品臺傾轉角度：-12度 ~ +30度，連續可調；

4、最大離子束流：≥1mA/cm2。