激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體，穩(wěn)定可靠；

精密激光及探針定位裝置，更換探針及調(diào)節(jié)光斑簡單方便；

單軸驅(qū)動樣品自動垂直接近探針，準(zhǔn)確定位掃描區(qū)域，使針尖垂直于樣品掃描；

馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動探測的智能進(jìn)針方式，保護(hù)探針及樣品；

4X物鏡光學(xué)定位，無需調(diào)焦，實(shí)時觀測與定位探針樣品掃描區(qū)域；

彈簧懸掛式防震方式，簡單實(shí)用，防震效果好；

金屬屏蔽隔音箱，內(nèi)置高精度溫濕度傳感器，實(shí)時監(jiān)測工作環(huán)境；

集成掃描器硬件非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優(yōu)于98%。