Exploiter系列產(chǎn)品是原速科技自主開發(fā)的新一代智能化原子層沉積(ALD) 研發(fā)系統(tǒng)，廣泛適用于太陽能電池、納米器件、微電子、催化、生物等領(lǐng)域，可在硅片、石英、玻璃、金屬等基材表面全方位均勻制備納米薄膜。

產(chǎn)品符合半導(dǎo)體工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，設(shè)備采用模塊化設(shè)計(jì)理念，高度集成，維護(hù)方便；采用進(jìn)口核心零部件，高可靠性，高精度，高壽命，為工藝一致性提供硬件保障；友好的軟件操作界面，簡化的操作邏輯與可視化的界面設(shè)計(jì)，降低用戶操作難度，減少誤操作，提高設(shè)備的使用效率；全方位安全互鎖設(shè)計(jì)，為用戶的安全使用及設(shè)備的正常運(yùn)行提供保障；預(yù)留管路接口可實(shí)現(xiàn)更豐富的定制化需求，腔室預(yù)留等離子體接口，無需更換腔體即可升級，實(shí)現(xiàn)熱法與等離子體雙模式的切換；滿足不同的研發(fā)需求。