集控值系統(tǒng)與爐膛于一體。爐膛本身采用高純氧化鋁微晶纖維高溫真空吸附成型，加熱元件為電阻絲。散熱系統(tǒng)采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)，爐體表面溫度≤60℃。真空腔室采用石英管材質(zhì)，其貫穿整個(gè)爐體，爐管兩端選用不銹鋼法蘭密封，可在真空或氣氛環(huán)境下工作。加熱元件與爐管平行，均勻的分布在爐管外，有效地保證了溫場(chǎng)的均勻性。采用宇電AI-3756P觸摸屏控溫儀和K型熱電偶，可編程30段程序控溫，控溫精度±1℃ 。