1.采用單片機單片機作為處理器，具有自主知識產權，擴展性好，可為用戶進行定制化開發；

2.5.1英寸觸摸操作液晶顯示屏，可現實設定濺射電流、濺射時間，工作濺射電流、剩余濺射時間等參數；

3.濺射電流可在5-45mA內隨意調節，最小步長為1mA；

4.濺射真空度獨立控制，與濺射電流無關，且最小調節量0.1Pa；

5.系統提供金、鉑對于空氣和氬氣的工作參數，可直接使用。同時提供3種自定義靶材，用戶可根據自己需求設定工作參數；

6.濺射時間設定范圍為1-600秒，最小調節量為1秒；

7.具備濺射電流、真空度雙重互鎖，安全可靠，任一調節觸發，系統即可停止工作，防止因為誤操作導致設備損壞；

8.極限真空優于1Pa，真空泵抽速為1L/s；

9.系統具備實時曲線顯示濺射電流和真空度功能、屏幕亮度調節功能、系統工作時間和靶材使用時間顯示等功能，非常方便用戶了解系統工作狀態。