利用薄膜干涉光學原理，對薄膜進行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面，探頭同位接收反射光線。白光干涉薄膜厚度測量儀Delta根據反射回來的干涉光，用反復校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm，可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜，還可以測量n和k值。RT100廣泛地用于光學玻璃、薄膜、顯示、觸摸屏、手機蓋板等行業。配備積分球，可用于具有毛糙表面的樣品反射光譜和透射光譜測試，如聚光玻璃、毛玻璃等。