中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司創(chuàng)建于1958年，前身為中國科學院沈陽科學儀器研制中心。園區(qū)位于遼寧省沈陽市渾南區(qū)，占地面積110畝。多年來，公司專注于高真空、超高真空、超潔凈真空技術的研究和發(fā)展，是我國集成電路裝備和真空儀器設備的研制、生產(chǎn)基地，先后組建“國家分子束外延技術試驗基地”、“國家多功能電子能譜儀生產(chǎn)基地”、“國家真空儀器裝置工程技術研究中心”和“真空技術裝備國家工程實驗室”等科研平臺。

主要產(chǎn)品：

1. 真空應用產(chǎn)品：

（1）真空薄膜儀器設備：PVD鍍膜設備，CVD鍍膜設備等；

（2）新材料制備設備：真空冶金設備，晶體材料制備設備等；

（3）國家大科學工程裝置：真空互聯(lián)，同步輻射等；

2. 真空獲得產(chǎn)品：系列羅茨干泵（機組）、渦旋干泵及真空部件等。