Exhibitor search
北京中科科儀股份有限公司前身為中國科學院北京科學儀器研制中心（原中國科學院科學儀器廠），始建于1958年，研制出我國第一臺掃描電子顯微鏡、第一臺渦輪分子泵、第一臺商用氦質譜檢漏儀，參與“兩彈一星”、“正負電子對撞機”等一系列國家重大工程項目并做出了突出貢獻。中科科儀始終以開放的姿態與國內外科研機構及廠商開展合作，經過五十多年的技術積累，已經擁有國內一流的電子光學研發團隊，努力推動國產科學儀器向產業化、規模化方向發展。
中科科儀是國產品牌掃描電子顯微鏡領軍企業，秉承中國科學院嚴謹、誠信的科研方針，緊抓機遇，追蹤電子光學高端技術，不斷推出適應市場，滿足客戶需求的電子光學產品，為客戶提供系列標準化掃描電子顯微鏡、定制電子光學儀器、輔助設備、制樣設備以及系統集成的解決方案，中科科儀已經在數十個領域為近千家客戶提供了廣泛的服務。
1.采用單片機單片機作為處理器，具有自主知識產權，擴展性好，可為用戶進行定制化開發；
2.5.1英寸觸摸操作液晶顯示屏，可現實設定濺射電流、濺射時間，工作濺射電流、剩余濺射時間等參數；
3.濺射電流可在5-45mA內隨意調節，最小步長為1mA；
4.濺射真空度獨立控制，與濺射電流無關，且最小調節量0.1Pa；
5.系統提供金、鉑對于空氣和氬氣的工作參數，可直接使用。同時提供3種自定義靶材，用戶可根據自己需求設定工作參數；
6.濺射時間設定范圍為1-600秒，最小調節量為1秒；
7.具備濺射電流、真空度雙重互鎖，安全可靠，任一調節觸發，系統即可停止工作，防止因為誤操作導致設備損壞；
8.極限真空優于1Pa，真空泵抽速為1L/s；
9.系統具備實時曲線顯示濺射電流和真空度功能、屏幕亮度調節功能、系統工作時間和靶材使用時間顯示等功能，非常方便用戶了解系統工作狀態。
1.分辨率: SE 3nm@30KV； BSE 6nm@30KV
2.放大倍率: 8倍～300000 倍 (底片放大)
3.電子槍: 翻開式預對中鎢絲陰極
4.加速電壓: 0～30kV連續可調，0-10kV步進量為100V，10kV以上步進量為1kV
5.具有一鍵看像功能
6.透鏡系統: 三級高性能錐形透鏡系統
7.物鏡光闌：三個可在真空外調節，無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌
8.真空系統： 1個渦輪分子泵，1個機械泵； 樣品室真空優于2.6E-3 Pa ，全自動真空控制，具有真空互鎖功能
9.探測器標準配置
10.高真空二次電子探測器
11.四分割半導體BSE探測器
12.紅外CCD攝像頭
13.樣品室提供3個可擴展接口，可接 WDS、EDS、BSE 等多種附件和探測器
14.樣品臺配置（可二選其一）
15.標準樣品臺（手動）
16.行程： X=80mm,Y=60mm,Z=50mm，T=-5°～+90°,R=360°
17.最大樣品直徑: Ф175mm；最大樣品高度：40mm
18.五軸全自動臺中型樣品臺
19.行程： X=80mm,Y=50mm,Z=30mm，T=-5°～+70°,R=360°
20.最大樣品直徑: Ф175mm；最大樣品高度：20mm
21.注：所有規格樣品室均具有防碰撞報警功能
1.分辨率: SE 1.0nm@30KV; SE 3.0nm@1KV ; BSE 2.5nm@30KV
2.放大倍率: 6倍-1000000 倍 (底片放大)
3.電子槍: Schottky 肖特基場發射電子槍
4.加速電壓: 0～30kV
5.透鏡系統: 多級高性能透鏡系統，低像差錐形物鏡
6.物鏡光闌：三個可在真空外調節，無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌
7.真空系統： 1個濺射離子泵+1個吸氣劑離子復合泵，1個渦輪分子泵，1個機械泵；樣品室真空優于6E-4 Pa ，電子槍倉真空優于2E-7 Pa。全自動真空控制，具有真空互鎖功能
8.探測器標準配置：高真空二次電子探測器；紅外CCD攝像頭
9.樣品室提供5個可擴展接口，可以外接 WDS、EDS、BSE、EBSD 等多種附件和探測器
10.五軸全自動大樣品臺
11.行程： X=150mm,Y=150mm,Z=60mm，T=-5°～+70°,R=360°
12.最大樣品直徑: Ф340mm；最大樣品高度：50mm
13.注：均具有防碰撞報警功能
