第六代Phenom ProX臺(tái)式掃描電鏡引入了全新一代操作系統(tǒng)，通過改進(jìn)光路設(shè)計(jì)，將分辨率提升到新高度。能譜操作界面與能譜算法進(jìn)一步升級(jí)，易于操作，元素分析更快速。在滿足材料表面形貌和元素分析的基礎(chǔ)上，還可以通過軟件控制硬件，實(shí)現(xiàn)材料分析自動(dòng)化。此外，用戶可以通過特定的軟件從SEM圖像中快速提取樣品特征信息，測量數(shù)據(jù)、統(tǒng)計(jì)圖表可以根據(jù)選擇的格式輸出在報(bào)告里。