光學(xué)陰極發(fā)光使得在微觀或宏觀尺度上識別導(dǎo)致材料在電子束轟擊下發(fā)光特性的點(diǎn)缺陷和雜質(zhì)成為可能。應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)槲㈦娮印雽?dǎo)體或絕緣材料、地質(zhì)學(xué)和礦物學(xué)。