激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體，穩定可靠；

精密激光及探針定位裝置，更換探針及調節光斑簡單方便；

單軸驅動樣品自動垂直接近探針，準確定位掃描區域，使針尖垂直于樣品掃描；

馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品；

4X物鏡光學定位，無需調焦，實時觀測與定位探針樣品掃描區域；

彈簧懸掛式防震方式，簡單實用，防震效果好；

金屬屏蔽隔音箱，內置高精度溫濕度傳感器，實時監測工作環境；

集成掃描器硬件非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優于98%。