●適用領域：光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等

●適用工藝：等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等

●全數字控制，高穩定度和高可靠性

●進線具有APFC模塊，提高輸入側功率因數，降低諧波

●優化結構設計，功率密度大

●高亮LCD顯示，操作直觀

●穩定可靠的功放和直流控制模塊

●連續、脈沖輸出模式

●駐波1.5時仍能輸出額定功率

●三個可編程模擬量輸出

●完善的保護功能