低溫真空泵（又稱低溫泵、冷泵）是一種利用低溫冷凍和低溫吸附原理抽氣的容積式真空泵，是無油高真空環境獲得設備。

低溫泵適合應用于要求潔凈無油、快速抽氣超高真空的場景，主要用于濺射鍍膜設備、蒸發鍍膜設備、離子注入設備、分子束外延設備、空間模擬裝置、高能物理研究裝置、加速器束流管、超高真空裝置等應用場合。