使用MEMS諧振式微懸臂梁傳感芯片作為敏感元件，研究功能材料氣敏性能的分析工具以及高性能氣敏傳感器的開發與測試平臺。通過將不同的氣敏材料負載到微懸臂梁傳感芯片上，可以形成多種多樣的質量型氣敏傳感器。當傳感器對目標氣體發生吸附作用時，引起的微小質量改變可以被微懸臂梁氣敏測試系統實時感知和測量，從而實現對目標氣體的定量分析與測試。由于MEMS諧振式微懸臂梁傳感芯片具有超高的質量檢測靈敏度，因此該儀器可實現對ppb甚至ppt量級氣體的痕量檢測，是研究氣敏材料和氣敏傳感器的新利器。