多波長橢偏儀FS-1擅長測量透明薄膜的厚度和折射率。相比于單波長橢偏儀，多波長橢偏儀可測定薄膜厚度，對于透明薄膜測量厚度至少可達5μm，不存在厚度周期性問題；可確定樣品其它其它參數特性例如薄膜粗糙度、多層膜厚度等；對數據分析提供檢測依據，一個良好的分析模型應該適用于不同波長的數據；對于薄的薄膜（<20nm）多波長橢偏儀提供的數據信息量可以與光譜橢偏儀相媲美。