Exploiter系列產品是原速科技自主開發的新一代智能化原子層沉積(ALD) 研發系統,廣泛適用于太陽能電池、納米器件、微電子、催化、生物等領域,可在硅片、石英、玻璃、金屬等基材表面全方位均勻制備納米薄膜。
產品符合半導體工業標準,設備采用模塊化設計理念,高度集成,維護方便;采用進口核心零部件,高可靠性,高精度,高壽">
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Exploiter系列產品是原速科技自主開發的新一代智能化原子層沉積(ALD) 研發系統,廣泛適用于太陽能電池、納米器件、微電子、催化、生物等領域,可在硅片、石英、玻璃、金屬等基材表面全方位均勻制備納米薄膜。
產品符合半導體工業標準,設備采用模塊化設計理念,高度集成,維護方便;采用進口核心零部件,高可靠性,高精度,高壽命,為工藝一致性提供硬件保障;友好的軟件操作界面,簡化的操作邏輯與可視化的界面設計,降低用戶操作難度,減少誤操作,提高設備的使用效率;全方位安全互鎖設計,為用戶的安全使用及設備的正常運行提供保障;預留管路接口可實現更豐富的定制化需求,腔室預留等離子體接口,無需更換腔體即可升級,實現熱法與等離子體雙模式的切換;滿足不同的研發需求。
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