采用進口品牌高性能旋片泵產生一個潔凈的<1 Pa的真空壓強，采用高品質恒功率RF射頻電源，確保工藝重復性。感應射頻等離子體放電模式也有利于降低樣品的熱影響和離子轟擊損傷。特別適用于對溫度敏感的樣品等離子體清洗、表面活化等用途。主要應用于生物冷凍電鏡微柵碳膜親水活化處理。