ALD化學(xué)氣相沉積是將不同的反應(yīng)前驅(qū)物以氣體脈沖的形式交替送入反應(yīng)室中并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種方法。2個(gè)316L不銹鋼源瓶與2路進(jìn)氣管路連接，多根加熱管給2個(gè)源瓶加熱，2路進(jìn)氣管道上各自安裝一個(gè)ALD閥門（該閥門由ALD控制面板控制）、控制2路管道交替脈沖輸入，多根加熱管給ALD通道加熱，保證被汽化液體保持汽化狀態(tài)進(jìn)入反應(yīng)區(qū)域，多個(gè)旁通支路、可以通其它氣體或運(yùn)載氣體。