集控值系統與爐膛于一體。爐膛本身采用高純氧化鋁微晶纖維高溫真空吸附成型，加熱元件為電阻絲。散熱系統采用雙層風冷結構，爐體表面溫度≤60℃。真空腔室采用石英管材質，其貫穿整個爐體，爐管兩端選用不銹鋼法蘭密封，可在真空或氣氛環境下工作。加熱元件與爐管平行，均勻的分布在爐管外，有效地保證了溫場的均勻性。采用宇電AI-3756P觸摸屏控溫儀和K型熱電偶，可編程30段程序控溫，控溫精度±1℃ 。