CVD管式爐系統用于溫度在1100℃左右的CVD實驗，也可用于：真空燒結、真空氣氛保護燒結、納米材料制備、電池材料制備等多研究領域。爐管兩端不銹鋼法蘭密封，精確的手動浮子流量計或高精度質量流量計精確的控制氣體流量，滿足不同保護氣氛的工藝要求；真空獲得由一臺旋片式雙極直聯真空泵和電阻硅真空測量系統組成，真空度5pa，也可選擇分子泵機組高真空系統，真空度0.0001pa；爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點