利用薄膜干涉光學(xué)原理，對(duì)薄膜進(jìn)行厚度測(cè)量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面，探頭同位接收反射光線。白光干涉薄膜厚度測(cè)量?jī)xDelta根據(jù)反射回來(lái)的干涉光，用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計(jì)算出薄膜的厚度。測(cè)量范圍1nm-3mm，可同時(shí)完成多層膜厚的測(cè)試。對(duì)于100nm以上的薄膜，還可以測(cè)量n和k值。RT100廣泛地用于光學(xué)玻璃、薄膜、顯示、觸摸屏、手機(jī)蓋板等行業(yè)。配備積分球，可用于具有毛糙表面的樣品反射光譜和透射光譜測(cè)試，如聚光玻璃、毛玻璃等。