以MEMS自加熱諧振式微懸臂梁傳感芯片為核心，替代傳統的天平+爐管加熱方式，實現片上熱重分析功能。該儀器的工作原理為世界首創，與傳統儀器相比，除了體積更小巧外，具有分析速度更快、靈敏度更高、樣品消耗量更少、升溫速率和傳質影響小、可快速升降溫等優點，可廣泛應用于各類材料的研究開發、工藝優化與質量監控等領域。