使用MEMS諧振式微懸臂梁傳感芯片作為敏感元件，研究功能材料氣敏性能的分析工具以及高性能氣敏傳感器的開發(fā)與測(cè)試平臺(tái)。通過(guò)將不同的氣敏材料負(fù)載到微懸臂梁傳感芯片上，可以形成多種多樣的質(zhì)量型氣敏傳感器。當(dāng)傳感器對(duì)目標(biāo)氣體發(fā)生吸附作用時(shí)，引起的微小質(zhì)量改變可以被微懸臂梁氣敏測(cè)試系統(tǒng)實(shí)時(shí)感知和測(cè)量，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)氣體的定量分析與測(cè)試。由于MEMS諧振式微懸臂梁傳感芯片具有超高的質(zhì)量檢測(cè)靈敏度，因此該儀器可實(shí)現(xiàn)對(duì)ppb甚至ppt量級(jí)氣體的痕量檢測(cè)，是研究氣敏材料和氣敏傳感器的新利器。