化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD)主要通過微波或射頻的方法將目標(biāo)氣體電離，產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，從而在基片上沉積出所需要的薄膜產(chǎn)品。卓聚科技研發(fā)的CVD系統(tǒng)能在無催化劑的情況下生長高質(zhì)量的石墨烯材料，并精確控制其生長層數(shù)，這種高精度的材料區(qū)別于一般工業(yè)生產(chǎn)的石墨烯薄膜，可應(yīng)用于微電子產(chǎn)品及生物醫(yī)藥領(lǐng)域。