卓聚科技研發的納米壓電驅動馬達，使用壓電陶瓷作為運動促動原件，利用粘滑運動原理，可以在數十毫米范圍內實現納米級別的最小步長，解決了傳統納米臺行程不足，而微米電動臺分辨精度不高的問題。此外，相比電機類運動控制產品，卓聚研發的產品具有運動無需潤滑，百分百真空兼容，可在從液氦溫區（-269℃）至室溫的寬溫區內工作等優點。在功能及操作模式上，我們研發的產品具有步進和掃描雙工作模式，在宏觀行程范圍內能達到亞納米分辨率的定位。