利用MEMS諧振式微懸臂梁傳感芯片，通過“變溫微稱重法”，定量提取功能材料與氣體分子發(fā)生吸附時(shí)，表界面分子作用熱力學(xué)和動(dòng)力學(xué)參數(shù)的科學(xué)分析儀器。

該儀器及工作原理均為世界首創(chuàng)，可以定量獲取決定功能材料吸附性能的本質(zhì)參數(shù)，如焓變、吉布斯自由能變化、活化能、熵變等，對(duì)于研究材料吸附機(jī)理、指導(dǎo)材料性能優(yōu)化、預(yù)測(cè)材料應(yīng)用方向等方面有重要的意義。

使用MEMS諧振式微懸臂梁傳感芯片作為敏感元件，研究功能材料氣敏性能的分析工具以及高性能氣敏傳感器的開發(fā)與測(cè)試平臺(tái)。通過將不同的氣敏材料負(fù)載到微懸臂梁傳感芯片上，可以形成多種多樣的質(zhì)量型氣敏傳感器。當(dāng)傳感器對(duì)目標(biāo)氣體發(fā)生吸附作用時(shí)，引起的微小質(zhì)量改變可以被微懸臂梁氣敏測(cè)試系統(tǒng)實(shí)時(shí)感知和測(cè)量，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)氣體的定量分析與測(cè)試。由于MEMS諧振式微懸臂梁傳感芯片具有超高的質(zhì)量檢測(cè)靈敏度，因此該儀器可實(shí)現(xiàn)對(duì)ppb甚至ppt量級(jí)氣體的痕量檢測(cè)，是研究氣敏材料和氣敏傳感器的新利器。

以MEMS自加熱諧振式微懸臂梁傳感芯片為核心，替代傳統(tǒng)的天平+爐管加熱方式，實(shí)現(xiàn)片上熱重分析功能。該儀器的工作原理為世界首創(chuàng)，與傳統(tǒng)儀器相比，除了體積更小巧外，具有分析速度更快、靈敏度更高、樣品消耗量更少、升溫速率和傳質(zhì)影響小、可快速升降溫等優(yōu)點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于各類材料的研究開發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量監(jiān)控等領(lǐng)域。