NIOS納米壓痕儀是實現超過30種不同的測量技術的全能系統，涵蓋了亞微米和納米尺度所有類型的物理和機械性能測量。通過控制軟件，可以實現高度自動化的測量，允許終端用戶配置任何測量方案，無需操作員干預即可執行。納米壓痕儀的模塊化設計允許終端用戶根據自己的需要配置納米機械測試機。配置可包括以下模塊: 寬量程納米壓痕儀；光學顯微鏡；原子力顯微鏡；掃描納米機械測試儀；電特性測量；側向力傳感器；原位形貌成像；加熱臺等。

多波長橢偏儀FS-1擅長測量透明薄膜的厚度和折射率。相比于單波長橢偏儀，多波長橢偏儀可測定薄膜厚度，對于透明薄膜測量厚度至少可達5μm，不存在厚度周期性問題；可確定樣品其它其它參數特性例如薄膜粗糙度、多層膜厚度等；對數據分析提供檢測依據，一個良好的分析模型應該適用于不同波長的數據；對于薄的薄膜（<20nm）多波長橢偏儀提供的數據信息量可以與光譜橢偏儀相媲美。

高分辨率磁光克爾顯微MagVision Kerr系統是研究鐵磁和亞鐵磁性薄膜和多層膜的磁性性質、繪制磁性區域的有力工具。磁光克爾效應描述了從磁化表面反射光的變化。從磁化表面反射的光可以改變偏振和反射強度，而克爾效應描述的是從磁化表面反射的光的變化。