Mapping系列光譜橢偏儀采用行業前沿創新技術，配置全自動Mapping測量模塊。通過橢偏參數、 透射/反射率等參數的測量，快速實現薄膜全基片膜厚以及光學參數自定義繪制化測量表征分析

1、全基片橢偏繪制化測量解決方案

2、支持產品設計以及功能模塊定制化，一鍵繪制測量

3、配置Mapping模塊，全基片自定義多點定位測量能力

4、豐富的數據庫和幾何結構模型庫，保證強大數據分析能力