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Crossbeam-Laser關聯飛秒激光-雙束顯微鏡
蔡司Crossbeam350/550新引入的專利技術-飛秒激光切割。除了可以在大范圍內進行快速、無鎵注入的結構切割和加工外,結合并關聯Crossbeam雙束顯微鏡的高分辨加工與觀察能力,還能夠針對深埋于樣品內部的結構進行加工與分析。
與使用等離子體源的等離子體聚焦離子束技術(Plasma FIB)相比,在移除大范圍材料時,這一新工具的加工速度最高可提升50倍。其可廣泛應用于微懸臂、納米力學測試柱以及蔡司Xradia Ultra X射線顯微鏡樣品等結構的制備與加工。