一、產品概述

1、適用范圍：適合于各單位實驗室、高等院校實驗室、教學等的項目科研、產品中試之用。

2、產品優點及特點：設備采用熱絲化學氣相沉積技術，已應用于國內多家用熱絲法生產金剛石的生產線上。該設備已生產出大尺寸片狀多晶金剛石厚膜，填補了國內空白，并獲得了非常可觀的經濟效益。該系列設備適合于工業化生產也非常適合于科研、教學和產品中試之用。

3、主要用途：用于生長毫米級金剛石厚膜、金剛石薄膜、類金剛石膜、氮化硅和氧化硅膜等。在切削刀具、鉆頭、絲錐等表面沉積納米金剛石薄膜、微晶金剛石薄膜。也可制備摻硼金剛石電極、BBD電極、金剛石電極薄膜等。

二、技術參數

型號:HF600

真空腔室結構:立式前開門結構，后置抽氣系統，雙層水冷

真空腔室尺寸:Φ600×H500mm

基片臺尺寸:Φ200mm

襯底溫度:600~1100℃

電源:DC

控制方式:PC+PLC+觸摸屏控制

占地面積:主機L1620×W1060×H1900mm

總功率:≥43KW